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웨이퍼 레이저 어닐링 시스템은 구성 가능한 레이저 소스(308nm/532nm/1064nm)와 고정밀 에어 베어링 모션 스테이지(±1μm 위치 정확도)를 갖춘 모듈형 설계를 특징으로 합니다. 2m×2m 크기의 이 소형 클린룸 호환 시스템은 실시간 온도 모니터링과 자동 초점 조절 기능을 통합하여 일관된 공정 제어를 제공합니다.

정밀 어닐링: ±1℃ 온도 제어로 0.1-5J/센티미터² 조절 가능한 에너지 밀도
높은 처리량: 초당 100~500개 사이트 처리(RTP보다 100배 빠름)
선택적 처리: 단일 트랜지스터 레벨 어닐링을 가능하게 합니다.
비열적 손상: 초단 펄스로 기판 가열 방지
스마트 컨트롤: 일체 포함 기반 매개변수 최적화 및 결함 감지
고급 로직 디바이스: 7nm/5nm 노드를 위한 소스/드레인 어닐링
3D 낸드 플래시: 수직 메모리 구조를 위한 접촉 어닐링
전력 장치: 향상된 이동성을 위한 SiC/갈륨질소(GaN) 어닐링
CIS 제조: 픽셀 수준 성능 향상
고급 패키징: 2.5D/3D IC를 위한 상호 연결 어닐링
주요 성과 데이터:
매개변수 | 사양 |
|---|---|
웨이퍼 크기 | 4-12인치 |
파장 | 308/532/1064nm 선택 가능 |
에너지 밀도 | 0.1-5J/센티미터² |
위치 정확도 | ±1μm |
처리량 | 100-500개 사이트/초 |
온도 조절 | ±1℃ |
이 시스템의 고급 공정 제어 기능은 차세대 반도체 제조에 적합하며, 높은 수율과 처리량을 유지하면서도 뛰어난 장치 성능을 제공합니다.
마이크로 주도의 어레이를 위한 초정밀 레이저 전송. 마이크론 단위의 정확도를 갖춘 고속 대량 생산. 비접촉 공정으로 손상이 전혀 없습니다. 유연한 생산 확장을 위한 모듈식 설계.
더내구성 있는 금속 수리를 위한 고정밀 레이저 클래딩. 친환경적 공정으로 폐기물과 에너지 소비를 줄입니다. 자동화된 제어를 통해 일관되고 고품질의 코팅이 보장됩니다. 정밀성과 신뢰성으로 글로벌 산업계로부터 신뢰를 받고 있습니다.
더고효율 전기 자동차 배터리 생산을 위한 정밀 용접. 완전 자동화된 시스템으로 속도가 향상되고 결함이 감소합니다. 견고한 설계로 안정적이고 장기적인 제조 성능이 보장됩니다. 다양한 배터리 유형과 크기에 맞는 맞춤형 솔루션입니다.
더친환경 레이저 세척은 화학 처리를 대체합니다. 기본 재료를 손상시키지 않고 정밀하게 세척합니다. 가벼운 디자인으로 어디서나 쉽게 조작할 수 있습니다. 오래 지속되는 파이버 레이저 소스를 사용하여 유지 보수가 간편합니다.
더정밀 레이저 용융은 복잡한 금속 부품을 층층이 쌓아 만듭니다. 폐쇄 루프 제어를 통해 일관된 고밀도 부품 품질이 보장됩니다. 티타늄, 강철, 합금 등 다양한 소재에 적용 가능.
더동시 5축 제어로 복잡한 3D 부품 가공이 가능합니다. 통합 회전 테이블은 대형 곡면을 가공합니다. 스마트한 충돌 회피 기능으로 중단 없는 생산이 보장됩니다.
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