박막 태양 전지용 통합 처리 장비

박막 태양 전지용 레이저 집적 처리 시스템

구조적 특징

연방통신위원회-05 시리즈 레이저 통합 처리 시스템은 박막 태양 전지의 연구개발 및 생산을 위해 설계된 최첨단 이중 광 경로 플랫폼입니다. 핵심 구성 요소는 다음과 같습니다.

• 듀얼 레이저 구성: 다양한 처리를 위해 파이버 나노초 레이저와 초고속 펄스 레이저(파장 옵션: 1064nm/532nm/355nm)를 통합했습니다.

• 정밀 기계: 다중 모드 위치 지정 기술을 통해 <30μm 피처 분해능과 ±5μm 위치 지정 정확도로 500mm×500mm(최대) 처리 영역을 제공합니다.

• 모듈식 통합: 자동 제어 시스템, 고속 광학 처리 장치, 머신 비전 정렬 시스템을 컴팩트하고 안정적인 프레임으로 결합했습니다.

• 독점 소프트웨어: 사용자 정의 가능한 프로세스 워크플로를 위한 직관적인 HMI를 갖춘 자체 개발 제어 소프트웨어가 특징입니다.

주요 혁신에는 동기화된 듀얼 빔 처리를 통해 달성된 동시 P1/P2/P3 레이저 스크라이빙 및 P4 에지 분리 기능이 포함됩니다. 이는 박막 태양 전지 제조에 있어 중요한 장점입니다.

제품의 장점

1. 비교할 수 없는 안정성:

• 고급 모션 제어 하드웨어(예: 선형 인코더, 진동 감쇠 스테이지)는 처리량이 많은 환경에서도 24시간 연중무휴 운영 안정성을 보장합니다.

• 원활한 하위 시스템 통합으로 가동 중지 시간이 최소화됩니다.

2. 프로세스 유연성:

• 파장 전환 기능(IR/가시광선/자외선)은 다양한 박막 소재(CIGS, 카드뮴테, 페로브스카이트)에 적응합니다.

• 독점 소프트웨어를 통한 프로그래밍 가능한 매개변수(펄스 폭, 에너지, 오버랩)를 통해 R&D 수준의 조정이 가능합니다.

3. 정밀공학:

• 다중 센서 피드백(CCD 정렬, 레이저 간섭계)은 중요한 스크라이빙 작업에 대해 5μm 미만의 반복성을 보장합니다.

• 동적 초점 제어는 고르지 않은 기판에서도 일관성을 유지합니다.

4. 미래 지향적 디자인:

• 산업 4.0 통합을 위해 일체 포함 기반 프로세스 최적화 및 사물인터넷 연결을 지원합니다.

제품 응용 프로그램

주로 다음 용도로 사용됨:

• 박막 태양 전지 R&D: 다음을 포함한 소형 태양 전지 모듈에 대한 프로세스 개발을 가속화합니다.

• P1-P4 패터닝(투명 전도성 산화물, 흡수체, 후면 접촉 층).

• 열 손상을 최소화한 에지 분리(열 영향 영역 <50μm).

• 파일럿 생산: 실험실 규모와 대량 생산 사이의 다리 역할을 하며 다음을 제공합니다.

• 새로운 소재(예: 페로브스카이트 탠덤 셀)에 대한 공정 검증.

• 높은 수율의 프로토타입 제작(최대 98% 스크라이브 정확도).

• 품질 관리:

• 통합 이미징 시스템을 통한 인라인 결함 감지.

• 비접촉 처리로 깨지기 쉬운 기판에 가해지는 기계적 응력을 제거합니다.

산업 영향: 이 시스템은 박막형 태양광 제조의 주요 과제인 처리량 병목 현상, 레이어 정렬 오류, 에지 재결합 손실 문제를 해결하는 동시에 기존 다단계 시스템에 비해 생산 비용을 최대 20%까지 절감합니다.