레이저 에칭 기술은 특히 디스플레이 제조, 태양광, 플렉서블 전자 장치와 같은 산업 분야에서 박막 소재의 정밀 가공에 필수적인 기술이 되었습니다. 비접촉 가공, 디지털 제어, 고정밀성 등의 장점에도 불구하고, 박막 레이저 에칭 장비의 개발 및 적용에는 몇 가지 기술적 과제가 여전히 남아 있습니다. 본 논문에서는 이러한 과제와 업계 발전을 이끄는 혁신적인 솔루션을 살펴봅니다.
기가와트급 페로브스카이트 태양광 생산으로의 전환은 빔 분할 기술이 핵심적인 역할을 하는 정밀 레이저 가공에 달려 있습니다. 단일 레이저 광원을 여러 빔으로 분할함으로써, 이 기술은 P1-P3 패턴의 스크라이빙과 에지 분리(P4)를 동시에 가능하게 하여 처리량, 데드존 제어, 그리고 생산 비용에 직접적인 영향을 미칩니다. 현재 산업계에서는 주로 기계적 빔 분할과 회절 광학 소자(암사슴)를 사용하는데, 각각은 페로브스카이트의 열 감도 및 확장성 요구 사항에 대한 고유한 장점을 가지고 있습니다.
